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MKY-ZG-III型高純氣體凈化器
MKY-ZG-III型高純氣體凈化器
1m3/h～9m3/h高純氬氣凈化器設(shè)備參數(shù):
可以凈化的氣體有氬氣、氮?dú)?、氫氣、氦氣等惰性氣體
1. 氬氣凈化流量1 m3/h～9 m3/h。
2. 工作壓力:0.2～0.6MPa。
（也可做高壓的0.2～15MPa。）。
3. 功率：2KW ～6KW.
4. 設(shè)備外形尺寸(寬×厚×高)：450×450×1020～900×650×1800。
5. 凈化效能：
| 氣體 | 純度(%) | H2 | O2 | CO | CO2 | CH4 | 露點(diǎn) |
原氬 | 99.9 | <100 | <15 | <5 | <5 | <5 | －65℃ |
精氬 | 99.9999 | ≤0.2 | ≤0.3 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 | －80℃ |
MKY-ZG-III型高純氣體凈化器
1m3/h～9m3/h高純氬氣凈化器設(shè)備參數(shù):
可以凈化的氣體有氬氣、氮?dú)狻錃?、氦氣等惰性氣體
1. 氬氣凈化流量1 m3/h～9 m3/h。
2. 工作壓力:0.2～0.6MPa。
（也可做高壓的0.2～15MPa。）。
3. 功率：2KW ～6KW.
4. 設(shè)備外形尺寸(寬×厚×高)：450×450×1020～900×650×1800。
5. 凈化效能：
| 氣體 | 純度(%) | H2 | O2 | CO | CO2 | CH4 | 露點(diǎn) |
原氬 | 99.9 | <100 | <15 | <5 | <5 | <5 | －65℃ |
精氬 | 99.9999 | ≤0.2 | ≤0.3 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 | －80℃ |
